RCL 系列 3 kW 多坩埚线性喷枪™
蒸发源
系列：RCL
Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩埚线性电子枪提供增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描，具有完整的坩埚覆盖，并可通过自动分度器进行自动定位，单独出售。
蒸发源
系列：RCL
3 kW 多坩埚线性喷枪™
Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩埚线性电子枪提供增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描，具有完整的坩埚覆盖，并可通过自动分度器进行自动定位，单独出售。
特征
真正的 XY 清扫，坩埚覆盖
源附带的扫频线圈
增强的光束准直
插件发射器模块
增强的高稳定性冷却
交叉污染屏蔽
坚固的设计
可选的自动索引器
规格
| 工作压力 | 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想选择 |
| 光束电压 | 4,000 伏直流电 |
| 束流 | 0–750 mA 连续可变 |
| 最大功率 | 3 千瓦 |
| 冷却水 | 1.5 加仑/分钟 |
| 压差 | 最小 25 psi |
| 最大烘烤 温度 | 230°C （446°F） |
| 坩埚体积 | 2.24 cc x 3、4 或 5 个坩埚 |
Thermionics3kW多坩埚线性电子枪 真空组件
| 描述 | 型号 |
|---|---|
| 多个坩埚 3 kW e-Gun 源，带扫掠线圈，线性 3 位 | RCL0303 |
| 多个坩埚 3 kW e-Gun 源，带扫掠线圈，线性 4 位 | RCL0304 |
| 多个坩埚 3 kW e-Gun 源，带扫掠线圈，线性 5 位 |
